SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

Please be aware that information contained in older versions of SEMI Standards may be obsolete. SEMI encourages the use of current Standards.

936 製品

E06800 - SEMI E68 - マスフローコントローラーのウォームアップ時間を決定するための試験方法
F06000 - SEMI F60 - 不動態化した316Lステンレス・スチール部品の接合ガス表面の組成をESCAにより評価する試験方法
F05700 - SEMI F57 - 超純水および薬液供給システム内に使用するポリマー製材料および部品の仕様
E14900 - SEMI E149 - 製造装置の取得および使用に関する装置サプライヤー提供の文書ガイド
E00600 - SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のガイド
SEMI E6 - 半導体製造装置の設置に関する文書のガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
C04800 - SEMI C48 - 1,1,1-トリクロロエタン、炉グレードの仕様とガイド
SEMI C48 - 1,1,1-トリクロロエタン、炉グレードの仕様とガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
C02600 - SEMI C26 - ヘキサメチルジシラザン (HMDS) の仕様およびガイド
SEMI C26 - ヘキサメチルジシラザン (HMDS) の仕様およびガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
D04700 - SEMI D47 - 曲がった冷陰極蛍光ランプの測定のための試験方法
SEMI D47 - 曲がった冷陰極蛍光ランプの測定のための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
C00605 - SEMI C6.5 - パイプラインガスとして供給されるグレード 10/0.2 窒素 (N2) およびアルゴン (Ar) の粒子仕様
D01500 - SEMI D15 - FPDガラス基板表面のうねり測定方法
SEMI D15 - FPDガラス基板表面のうねり測定方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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