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SEMI C26 - ヘキサメチルジシラザン (HMDS) の仕様およびガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 8 月 30 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 9 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1983 年に出版されました。以前は 2006 年 3 月に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるヘキサメチルジシラザンの要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。メソッド検証に関する SEMI C1 ガイドラインに準拠している限り、代替メソッドを使用することができます。この文書は、必要性が確認されているヘキサメチルジシラザンのグレードに関するガイドも提供します。ガイドの場合、テスト方法はまだ統計的に検証されていない可能性があります。
この文書の範囲は、半導体産業で使用されるヘキサメチルジシラザンのグレードを対象としています。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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