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SEMI D15 - FPDガラス基板表面のうねり測定方法 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この方法は、世界的なフラット パネル ディスプレイ委員会によって技術的に承認されており、日本の FPD 材料およびコンポーネント委員会が直接責任を負っています。最新版は、2003 年 4 月 28 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2003 年 6 月に www.semi.org で入手可能でした。 2003 年 7 月に出版予定。初版は 1996 年 12 月に出版されました。
この文書では、機械式スタイラス、光学式スタイラス、および光学式干渉測定法を採用した測定器による FPD ガラス基板表面のうねりの測定について説明します。
参照されるSEMI規格SEMI D3 — フラットパネルディスプレイ基板の品質領域仕様
SEMI D9 — フラットパネルディスプレイ基板の定義
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