SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

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936 製品

E05400 - SEMI E54 - センサー/アクチュエータネットワークの基準
SEMI E54 - センサー/アクチュエータネットワークの基準 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S02800 - SEMI S28 - 半導体製造装置での使用を目的としたロボットおよびロードポートの安全ガイドライン
E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様 - ターボモレキュラーポンプ
S02700 - SEMI S27 - 環境、健康、安全(ESH)評価報告書内容に関する安全ガイドライン
S01600 - SEMI S16 - 製品寿命時の環境影響を削減するための半導体製造装置設計ガイド
E11300 - SEMI E113 - 半導体処理装置の高周波(RF)電力供給システム用仕様
SEMI E113 - 半導体処理装置の高周波(RF)電力供給システム用仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め(ガイドライン)F00600 - SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め(ガイドライン)
MF170800 - SEMI MF1708 - メルターゾーナー分光法による粒状ポリシリコンの評価の実践
F08900 - SEMI F89 - 1.5インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズマスフロースレッド/マスフローメータの寸法のための仕様
F09100 - SEMI F91 - 1.5インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用コンパクトサイズ2ポートコンポーネント(MFC/MFMを除く)の寸法のための仕様
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