SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

Historical Individual Standards

Historical versions of SEMI Standards are available for purchase. If a document is not available on the Historical Standards page, please contact customer service at 408.943.6901, or by email at customerservice@semi.org, to request that it be added.

Please be aware that information contained in older versions of SEMI Standards may be obsolete. SEMI encourages the use of current Standards.

936 製品

M05300 - SEMI M53 - パターンのない半導体ウェーハ表面に証明済み手法で蓄積した単分散標準粒子を用いた走査型表面検査システム比較正の作業方法
P01800 - SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力
SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ターボ分子ポンプ
SEMI E74 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ターボ分子ポンプ セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
E13700 - SEMI E137 - 半導体製造装置の最終組立、梱包、輸送、取り外し、クリーンルームの製造領域への移送のためのガイド
E07200 - SEMI E72 - 300 mm 装置の床移動、高さ、重量の仕様ごとのガイド
SEMI E72 - 300 mm 装置の床移動、高さ、重量の仕様ごとのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F06600 - SEMI F66 - ステンレス製薬液容器のポート標記及び記号の仕様
E13400 - SEMI E134 - データ収集管理の仕様
SEMI E134 - データ収集管理の仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
S01900 - SEMI S19 - 製造装置の設置、保守、サービス要員のトレーニングのための安全ガイドライン
F04000 - SEMI F42 - 半導体処理装置の瞬低耐性の試験方法
SEMI F42 - 半導体処理装置の瞬低耐性の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
E12100 - SEMI E121 - 半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド
SEMI E121 - 半導体製造への応用に関するXMLスタイルと利用のガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
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