SEMI F66 - ステンレス製薬液容器のポート標記及び記号の仕様 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本仕様はGlobal Liquid Chemical Distribution System Committeeにおいて技術的に承認されたもので、Japanese Liquid Chemical Distribution System Committeeが直接責任を負うものである。現版は2001年8月3日に日本の地域規格委員会にて承認された。2001年9月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2001年11月発行に続く。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書は、半導体及びフラットディスプレイ製造装置、及び薬液供給設備を使用するステンレス製容器のポート標記及び記号を規定する。

本書を対象とするステンレス製容器は、薬液を導出するあるいは導入するチューブ有しております、そのチューブが容器内部に一歩入っているものである。

チューブの取合い部（ポート）にカップリング（クイックカップリング）を使用する容器はこの範囲から除きます。

なし。

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