Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 org で入手可能となる。初版は2004年7 月発行、前版は2010 年3 月に発行された。

本仕様では、装置によって自動化された方法あるいは消費者によって特に要求された方法により、データ取得消費者がプロセスデータや操作データを装置と通信する方法について説明する。することにより多数のデータソースをより直接的に有効にして、有効にして、消費者がその目的に従って関連データをグループに整理できるための仕組みが含まれる。

下位文書:

SEMI E134.1-0710 - データ収集管理（ DCM ）のSOAP バインディングに関する仕様

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI E120.1 — 共通機器モデルの XML スキーマ
SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E125.1 — 機器の SOAP 実装の仕様 自己記述
SEMI E128 – XML メッセージングの仕様
SEMI E132.1 — 機器クライアントの認証および認可の SOAP 実装に関する仕様
SEMI E138 — XML 半導体共通コンポーネント

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