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SEMI P18 - ウェーハステッパーのオーバーレイ能力 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この翻訳は参考コピーのみです。もしも 英語版と翻訳版の間にはいかなる違いも存在するはずです。 その他の言語の場合は、英語版が正式な正式版です。
免責事項： このSEMI スタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMI スタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
ウェーハステッパーの主要な使用領域，かなり大規模メモリ回路の製造の現状と矛盾しない，ウェーハステッパーのオーバーレイ能力に対する認識が確立された。及びアライメントの定義も含まれる。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
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