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SEMI F6 - 危険ガス配管システムの二次封じ込め（ガイドライン） -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
危険な製品材料（ HPM ）としてのガスに対する二次封入パイプシステムの設計、製造、及び操作についてのガイドラインを規定するものである。
本ガイドラインは、統一建築基準法のH-6の分類、統一消防法の51条又は80条、又はその他適用できるローカルコード、の監督下に置かれている産業において、危険な生産品材料を供給するパイプ類のための一般的な要求条件をカバーするものである。
参照されるSEMI規格SEMI F1 — 有毒ガス配管システムのリーク完全性に関する仕様
SEMI S2 — 半導体製造装置の安全ガイドライン
SEMI S4 — キャビネット内のガスシリンダーの分離/分離に関する安全ガイドライン
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