SEMI S16 - 製品寿命時の環境影響を削減するための半導体製造装置設計ガイド -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Environment Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2012年6月18日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年6月発行、前版は2007年3月発行。

注意: 本書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書は、製品の寿命が尽きた際の半導体製造装置(SME)またはそのコンポーネントの環境への影響を考慮するための設計上の指針となるものである。

このガイドには、半導体製造装置(SME)またはそのコンポーネントの製品寿命が尽きた際に廃棄されることによる環境への影響を考慮するための設計上の考慮事項が記されている。

このガイドには，半導体製造装置(SME)またはそのコンポーネントの再利用またはリサイクルを促進するための設計上の考慮事項が記されている。

このガイドには、以下の内容が含まれます。

• 目的
• 範囲
• 制限
• 参照基準および文書
• ─
• 一般概念
• 素材の選択
• 再利用またはリサイクルの可能性の特定
• 再利用可能またはリサイクル可能な設計
• 装置サプライヤが提供する文書

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S12 — 機器の除染に関するガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン

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