SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

P02700 - SEMI P27 - 기판의 레지스트 두께 측정을 위한 파라미터 체크리스트
SEMI P27 - 기판의 레지스트 두께 측정을 위한 파라미터 체크리스트 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P02700 - SEMI P27 - 基板上のレジスト膜厚の測定用 Parameter CHECKRIST
SEMI P27 - 基板上のレジスト膜厚の測定用 Parameter CHECKRIST 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P02800 - SEMI P28 - 집적 회로 제조용 오버레이 계측 테스트 패턴 사양
SEMI P28 - 집적 회로 제조용 오버레이 계측 테스트 패턴 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P02800 - SEMI P28 - 集積回路製造用 오바레이 테스트파탄
SEMI P28 - 集積回路製造用 오바레이 테스트파탄 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P02900 - SEMI P29 - 감쇠 위상 편이 마스크 및 블랭크 마스크에 특정한 특성 사양
SEMI P29 - 감쇠 위상 편이 마스크 및 블랭크 마스크에 특정한 특성 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P02900 - SEMI P29 - 減衰型位相シフトマスク(ハーフトーン型位相シフトマスク)およびマスクブランクスに特有な特性の仕様
P03000 - SEMI P30 - 임계 치수 측정 주사 전자 현미경(CD-SEM)의 카탈로그 발행 실습
SEMI P30 - 임계 치수 측정 주사 전자 현미경(CD-SEM)의 카탈로그 발행 실습 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P03000 - SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡(CD-SEM)の目録発行の実施要領
SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡(CD-SEM)の目録発行の実施要領 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P03100 - SEMI P31 - 화학 증폭(CA) 포토레지스트 매개변수에 대한 카탈로그 발행 실습
P03100 - SEMI P31 - 化学増幅型(CA)フォトレジストパラメータのカタログ発行の作業方法
P03200 - SEMI P32 - 포토레지스트에서 미량 금속 측정을 위한 테스트 방법
SEMI P32 - 포토레지스트에서 미량 금속 측정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P03200 - SEMI P32 - 포트레지스트중간트레이스메탈정량에 관한 정보를 제공하는 방법
P03400 - SEMI P34 - 230mm 각형 포트마스크기판 부품
SEMI P34 - 230mm 각형 포트마스크기판 부품 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P03400 - SEMI P34 - 230mm 정사각형 포토마스크 기판 사양
SEMI P34 - 230mm 정사각형 포토마스크 기판 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P03500 - SEMI P35 - 마이크로리소그래피 계측용 용어
SEMI P35 - 마이크로리소그래피 계측용 용어 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
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