SEMI P12 - 유도 결합 플라즈마 방출 분광법(ICP)에 의한 포지티브 포토레지스트의 철, 아연, 칼슘, 마그네슘, 구리, 붕소, 알루미늄, 크롬, 망간 및 니켈 측정 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): Microlithography
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI P12-0997 - 비활성

개정

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

이 절차는 포토레지스트에서 철, 아연, 칼슘, 마그네슘, 구리, 붕소, 알루미늄, 크롬, 망간 및 니켈 측정을 위한 ICP 플라즈마 방출 분석입니다. 적용 가능한 농도 범위는 시료를 1~4로 희석했을 때 0.1~1ppm입니다. 정밀도는 4개 실험실 간의 라운드 로빈 분석에서 0.1ppm 이내로 나타났습니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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