SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

P03500 - SEMI P35 - 마이크로리소그라피메트로로지용어법
SEMI P35 - 마이크로리소그라피메트로로지용어법 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P03600 - SEMI P36 - 중요 치수 측정 주사 전자 현미경(CD-SEM)의 배율 참조 가이드
SEMI P36 - 중요 치수 측정 주사 전자 현미경(CD-SEM)의 배율 참조 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P03600 - SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡(CD-SEM)用倍率標準試料のgaid
SEMI P36 - 測長走査型電子顕微鏡(CD-SEM)用倍率標準試料のgaid 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P03700 - SEMI P37 - 극자외선 리소그래피 기판 및 블랭크 사양
SEMI P37 - 극자외선 리소그래피 기판 및 블랭크 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P03700 - SEMI P37 - 極紫外線 リソグラフィマスク基板の仕様
SEMI P37 - 極紫外線 リソグラフィマスク基板の仕様 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P03800 - SEMI P39 - Specification for OASIS® – Open Artwork System Interchange Standard - SEMI Dev 2
P03900 - SEMI P39 - OASISTM – オープン・アートワーク・システム・インターチェンジ・スタンダード(OPEN ARTWORK SYSTEM INTERCHANGE STANDARD)
P04000 - SEMI P40 - 극자외선 리소그래피 마스크의 장착 요구 사항 사양
SEMI P40 - 극자외선 리소그래피 마스크의 장착 요구 사항 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P04000 - SEMI P40 - 極紫外線 リソグラフィマスクの取り付けに関する要求条件およびアライメント基準位置の仕様
P04100 - SEMI P41 - 결함 검사 도구, 복구 도구 및 검토 도구 간 XML을 사용한 마스크 결함 데이터 처리 사양
P04100 - SEMI P41 - XML에 による,検査装置,修正装置 およびレviewー装置間で取扱うマスク欠陥データ仕様
P04200 - SEMI P42 - 웨이퍼 노출 시스템으로의 자동 레시피 전송을 위한 레티클 데이터 사양
P04200 - SEMI P42 - 웨하 빛광 시스템의 자동 레시피보타메 레치크루데이타의 교체
P04300 - SEMI P43 - 포토마스크 검증 용어
SEMI P43 - 포토마스크 검증 용어 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P04400 - SEMI P44 - 마스크 도구 전용 개방형 아트워크 시스템 교환 표준(OASIS ®) 사양
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