SEMI P18 - 웨하스텝파의 오버레이력 -

Name: P01800 - SEMI P18 - 웨하스텝파의 오버레이력
Brand: semi.org
SKU: 11305
Price: 288000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩288,000

Volume(s): Microlithography
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI P18-92(1104 재승인) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIstandade は，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダードスタンダード日本語スタンダード版をごご利用にあたってにあたってのの注釈を本文本文の末尾に記載記載しておりますますますます「すべきべきであるである」「しなければならない」について等。。。。。

ウェーーハステッパーの主要な使用領域，すなわち大規模集積回路の製造の現状と矛盾しないような，Weーーハステッパーのオーバーレイ能力に対する定義が確立された。更に，関連parameterすなわち，레지스트레이션，露光領域，良質領域，及びアライメントの定義も含まれる.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

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