SEMI P18 - 웨이퍼 스테퍼의 오버레이 기능 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): Microlithography
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI P18-92(재승인 1104)E - 비활성

개정

Abstract


알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

웨이퍼 스테퍼의 오버레이 기능에 대한 정의는 웨이퍼 스테퍼의 기본 응용 프로그램(즉, 대규모 집적 회로 제조)과 일치하도록 설정됩니다. 등록, 노출 필드, 양호 필드 및 정렬과 같은 관련 매개변수에 대한 정의도 포함되어 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI P18-92(재승인 1104)E(편집 개정)

SEMI P18-92(1104 재승인)

SEMI P18-92(최초 발행)

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