SEMI P22 - 포토마스크의 분할과 사이즈정의에의한 가이드라인 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項： このSEMIstandade は，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

SEMIstandard 日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」」「しな

注意： 「 Current 」의 스테이타스を維持するための 条件が 現時点で満たされていないため, 이 스탄다드마타는 안전 가이드라인は 「 Inactive 」 스테이타스입니다. 「 Inactive 」의 스턴다드または安全가이드라인 はSEMI から入手可能であり、引き続き有効です。

本gaidlineは，fototommask上の欠陥，およびprogramm欠陥分類法を提示し，さらにsizeの義を行なう。本文書内では，'fototommask'というみ言葉のが使用定れているが， ' レチクル' 말하자면 言葉とも置き換えが可能である.

FOOTMASK上の欠陥の分類・呼称・sizeを表現する場合には，本gaidlineに準ずることが望ましい。

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.