SEMI P11 - 알칼리 현상액의 총 정상도 측정을 위한 테스트 방법 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): Microlithography
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI P11-0308 - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2007년 12월 20일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2008년 2월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1991년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 1997년 9월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 알칼리 현상액의 총 정상성을 결정하기 위한 테스트 방법을 제공하는 것입니다.

　

단일 또는 다중 변곡점에 대한 산-염기 전위차 적정은 표준화된 염산을 적정제로 사용하는 자동 기록 적정기에서 수행됩니다. 정상도(meq/mL)는 얻은 데이터를 사용하여 적정기에 의해 계산됩니다.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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