SEMI P9 - 마이크로 전기공학용 레지스트의 기계류 테스트(가이드라인) -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 利用 にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「 「べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

このgaidlineの目的は，液體で現像されるレジスト，レジスト現像液，及びマイクロエレクトロニクス用デバイスのためのリンスを機能的にtestするのに必要的test手順の基礎prog ramを規定する ことである。それは更にそのようなSystemに対するproses修正を評価するためのgaidとしても使用できる。このgaidlineは，Fォト， DUV ，X線，及び電子ビームプロsesに使用しようとするものである.

本書に示されている情報の公表は，SEMIレジスト委員会によって1987年5月に承認された。この委員会は，gaidlineを完成させ，適切に改定する予定であり，코멘트を歓迎している.

実質的には，全てのリソグラフてくる。その結果殆どのどーザに受け入れられるような厳しい評価programmを規定することは不可能である.それ故，変えられるが，prosesno相違を制御できるtestprogrammto方法を規定するのが本gaidlineの狙いである。それぞれのprosesに対して適切な基本的制御方法を維持するために，全てのTestは，その機能的特性が既知でありかつ特性化されている或る内部の標準製品を基準として実施されるべきである。それぞれ生の産は各自が所望するか又は推奨する条件に基づいて実施されるべきであり，異なる製品は異なる条件のもとで評価することができるということが分かっている。そして，或る性質，変数，又は規定度のような条件は，포지티브포트레지스토노ようなレジストタイプに特定され，適用できる場合のみ使用されるべきである말하는 것과 も理解されるべきである。更に，このgaidは機能的 testを指向しているの，評価されるべき製品は，そのような機能的 testの前に全ての関連のある化学的及び物理的 testをpassするものとされている.

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