SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

MS00500 - SEMI MS5 - Micro-Chevron 테스트 구조를 사용한 웨이퍼 결합 강도 측정을 위한 테스트 방법
MS00600 - SEMI MS6 - 미세 유체 시스템 인터페이스용 설계 및 재료 가이드
SEMI MS6 - 미세 유체 시스템 인터페이스용 설계 및 재료 가이드 정상 가격₩428,000 KRW 할인 가격₩243,000 KRW
MS00700 - SEMI MS7 - 전자 장치 패키지에 대한 미세유체 인터페이스 사양
SEMI MS7 - 전자 장치 패키지에 대한 미세유체 인터페이스 사양 정상 가격₩428,000 KRW 할인 가격₩243,000 KRW
MS00800 - SEMI MS8 - MEMS(Microelectromechanical Systems) 패키지의 밀폐성 평가 가이드
MS00900 - SEMI MS9 - 미세 유체 장치 간의 고밀도 영구 연결 사양
SEMI MS9 - 미세 유체 장치 간의 고밀도 영구 연결 사양 정상 가격₩428,000 KRW 할인 가격₩243,000 KRW
MS01000 - SEMI MS10 - MEMS 패키징 재료를 통한 유체 침투 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MS10 - MEMS 패키징 재료를 통한 유체 침투 측정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
MS01100 - SEMI MS11 - Specification for Microfluidic Port and Pitch Dimensions
SEMI MS11 - Specification for Microfluidic Port and Pitch Dimensions 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
MS01200 - SEMI MS12 - MEMS 장치 제조에 사용되는 실리콘 기판 사양
SEMI MS12 - MEMS 장치 제조에 사용되는 실리콘 기판 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
MS01300 - SEMI MS13 - DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 공정 특성화를 위한 테스트 패턴 사용 가이드
MS01400 - SEMI MS14 - Guide for Critical Parameters of Gas Sensors
SEMI MS14 - Guide for Critical Parameters of Gas Sensors 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P00100 - SEMI P1 - 경질 표면 포토마스크 기판 사양
SEMI P1 - 경질 표면 포토마스크 기판 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P00100 - SEMI P1 - 하드서페이스・포트마스크용기재
SEMI P1 - 하드서페이스・포트마스크용기재 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P00200 - SEMI P2 - 경질 표면 포토마스크용 크롬 박막 사양
SEMI P2 - 경질 표면 포토마스크용 크롬 박막 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
P00200 - SEMI P2 - 하드서페이스・포트마스크용 크롬블랑크
SEMI P2 - 하드서페이스・포트마스크용 크롬블랑크 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩290,000
P00300 - SEMI P3 - 경질 표면 포토플레이트용 포토레지스트/E-빔 레지스트 사양
SEMI P3 - 경질 표면 포토플레이트용 포토레지스트/E-빔 레지스트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000
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