SEMI MF1569 - 반도체 기술에 대한 합의 참조 자료 생성 가이드 -

Abstract

이 표준은 Silicon Wafer Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 2월 1일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 7월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 ASTM International에서 ASTM F1569-94로 발표했습니다. 이전에 게시된 2012년 5월.

이 가이드는 확립된 소스에서 인증된 적합한 참조 자료가 없는 경우 단일 컨센서스 참조 자료(ConRefs)를 생성하는 절차를 다룹니다.

이러한 참조 자료는 서로 다른 조직 간의 바이어스 차이를 줄이기 위해 측정 시스템의 교정에 자주 필요합니다.

생성된 ConRef는 내부 사용 또는 관련 장비 및 재료의 실험실 간 비교를 위해 단일 실험실에서 사용할 수 있습니다.

그러나 대부분의 경우 여러 세트의 참조 자료를 복제하는 데 사용됩니다. 이러한 경우 이러한 참조 자료의 속성 값은 ConRefs의 속성 값으로 추적할 수 있습니다. 준비 조직의 특성에 따라 이러한 여러 세트는 인증 참조 자료 또는 작업 참조 자료일 수 있습니다. 이를 위해 재료 및 속성에 특정한 참조 자료 생성을 위한 가이드가 필요할 수 있습니다. 부록 1은 여러 세트의 참조 자료 생성을 위한 가이드를 준비하기 위한 요구 사항을 설명합니다.

이 가이드는 반도체 기술에 필요한 특정 속성 또는 관련 속성 제품군에 대한 일련의 ConRef를 생성하기 위해 수행해야 하는 단계를 다룹니다.

ConRefs 세트를 생성하는 절차는 ASTM E691에 따른 실험실 간 테스트를 기반으로 합니다. 이 가이드의 목적을 위해 실험실 간 연구(ILS)에 의해 평가된 테스트 방법이 ConRef의 속성 값을 결정하는 데 적합하다고 가정합니다.

이 가이드는 여러 가지 가능한 테스트 방법 중 하나를 선택하는 방법을 다루지 않으며 ConRef의 특성 측정에 다른 참조 물질을 사용해야 하는 경우도 다루지 않습니다.

이 안내서는 또한 여러 세트의 CRM 또는 참조 자료(RM)를 생성하기 위한 기초를 형성할 수 있는 합의 속성 값을 생성하는 데 사용할 수 있는 절차를 설명합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어

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