SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

P01300 - SEMI P13 - 원자 흡수 분광법에 의한 포지티브 포토레지스트의 나트륨 및 칼륨 측정
P01400 - SEMI P14 - 흑연로 원자 흡수 분광법에 의한 포지티브 포토레지스트의 주석 측정
P01500 - SEMI P15 - 원자 흡수 분광법에 의한 포지티브 포토레지스트 금속 이온 프리(MIF) 현상액의 나트륨 및 칼륨 측정
P01600 - SEMI P16 - Graphite Furnace Atomic Absorption Spectroscopy에 의한 포지티브 포토레지스트 MIF(Metal Ion Free) 현상액의 주석 측정
P01700 - SEMI P17 - 유도 결합 플라즈마 방출 분광법(ICP)에 의한 포지티브 포토레지스트 금속 이온 프리(MIF) 현상액의 철, 아연, 칼슘, 마그네슘, 구리, 붕소, 알루미늄, 크롬, 망간 및 니켈 측정
P01800 - SEMI P18 - 웨이퍼 스테퍼의 오버레이 기능 사양
SEMI P18 - 웨이퍼 스테퍼의 오버레이 기능 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
P01900 - SEMI P19 - 집적 회로 제조용 계측 패턴 셀 사양
SEMI P19 - 집적 회로 제조용 계측 패턴 셀 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
P02000 - SEMI P20 - EB Resist 매개변수의 카탈로그 게시 지침(제안)
SEMI P20 - EB Resist 매개변수의 카탈로그 게시 지침(제안) 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
P02100 - SEMI P21 - 마스크 쓰기 장비의 정밀도 및 정확도 표현 지침
SEMI P21 - 마스크 쓰기 장비의 정밀도 및 정확도 표현 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
P02200 - SEMI P22 - 포토마스크 결함 분류 및 크기 정의 지침
SEMI P22 - 포토마스크 결함 분류 및 크기 정의 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
P02300 - SEMI P23 - 프로그래밍된 결함 마스크에 대한 지침 및 마스크 결함 검사 시스템의 감도 분석을 위한 벤치마크 절차
P02400 - SEMI P24 - CD 계측 절차
SEMI P24 - CD 계측 절차 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
P02500 - SEMI P25 - 초점 심도 및 최적 초점 측정 사양
SEMI P25 - 초점 심도 및 최적 초점 측정 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
P02600 - SEMI P26 - 포토레지스트 감도 측정을 위한 파라미터 체크리스트
SEMI P26 - 포토레지스트 감도 측정을 위한 파라미터 체크리스트 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
P02700 - SEMI P27 - 기판의 레지스트 두께 측정을 위한 파라미터 체크리스트
SEMI P27 - 기판의 레지스트 두께 측정을 위한 파라미터 체크리스트 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000
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