SEMI MS1 - 웨이퍼-웨이퍼 접합 정렬 대상 지정 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): MEMS
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI MS1-0307(재승인 0318) - 현행

개정

Abstract

이 표준은 MEMS/NEMS 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 8월 18일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2006년 3월에 출판되었습니다. 이전에 2012년 8월에 게시되었습니다.

이 가이드는 웨이퍼 쌍의 각 웨이퍼에 배치되는 정렬 대상의 치수, 위치, 수량 및 특성을 지정하기 위한 프레임워크를 제공합니다. 이러한 타겟은 두 개의 패턴 웨이퍼를 결합하는 작업 전에 정렬하는 데 사용됩니다.

이 가이드는 내부 표면 정렬과 외부 표면 정렬의 두 가지 일반적인 정렬 프로세스와 함께 사용할 수 있는 대상에 적용됩니다.

이 가이드는 사양 요구 사항, 마크 특성 및 응용 프로그램을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습

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