SEMI MF2166 - 특수 참조 웨이퍼를 사용하여 비접촉 유전체 특성화 시스템 모니터링 방법 -

Abstract

이 표준은 원래 ASTM International에서 ASTM F2166-02로 발행되었습니다. 그것은 ASTM 투표 절차에 의해 공식적으로 승인되었으며 ASTM 특허 요구 사항을 준수했습니다. 이 표준의 소유권은 SEMI로 이전되었지만 SEMI 투표 절차에 의해 공식적으로 승인되지 않았으며 특허를 다루는 SEMI 규정 또는 SEMI 편집 지침을 준수하지 않습니다. 2003년 10월 www.semi.org에서 이용 가능, 2003년 11월 발행 예정. ASTM International에서 ASTM F2166-02로 마지막 발행.

이러한 관행은 코로나를 사용하는 비접촉 유전체 특성화 시스템(NCCDCS)의 성능을 제어하고 모니터링하기 위해 특수한 전기적 및 물리적 특성을 가진 웨이퍼의 사용을 설명합니다. 열 산화 웨이퍼는 온도 바이어스 응력 및 대기 노출로 인한 파라메트릭 드리프트 때문에 이러한 목적에 충분하지 않습니다. 다양한 실험 배열을 포함하는 세 가지 방법이 설명되어 있습니다. 방법 A - 포인트 소스 코로나를 사용하는 시스템의 경우 방법 B - 라인 소스 코로나를 사용하고 전체 매개변수 세트를 얻도록 프로그래밍할 수 있는 시스템의 경우 방법 C - 다음과 같은 시스템의 경우 라인 소스 코로나를 사용하지만 이동 이온 밀도만 결정할 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정을 위한 사양

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