SEMI MS6 - 미세 유체 시스템 인터페이스용 설계 및 재료 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): MEMS
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI MS6-0308 - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 MEMS 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2007년 12월 20일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2008년 2월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

 

이 문서는 중복 엔지니어링 노력을 줄이고 설계, 제조 가능성 및 작동을 개선할 수 있는 일반적인 유체 인터페이스 설계 및 재료 선택에 대한 지침을 제공합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드
SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F79 — 가스 분배 부품에 사용되는 실리콘과의 가스 호환성에 대한 지침

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