SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

MS01100 - SEMI MS11 - Specification for Microfluidic Port and Pitch Dimensions
SEMI MS11 - Specification for Microfluidic Port and Pitch Dimensions 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
MS01200 - SEMI MS12 - MEMS 장치 제조에 사용되는 실리콘 기판 사양
SEMI MS12 - MEMS 장치 제조에 사용되는 실리콘 기판 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
MS01300 - SEMI MS13 - DRIE(Deep Reactive Ion Etching) 공정 특성화를 위한 테스트 패턴 사용 가이드
MS01400 - SEMI MS14 - Guide for Critical Parameters of Gas Sensors
SEMI MS14 - Guide for Critical Parameters of Gas Sensors 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P00100 - SEMI P1 - 경질 표면 포토마스크 기판 사양
SEMI P1 - 경질 표면 포토마스크 기판 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P00200 - SEMI P2 - 경질 표면 포토마스크용 크롬 박막 사양
SEMI P2 - 경질 표면 포토마스크용 크롬 박막 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P00300 - SEMI P3 - 경질 표면 포토플레이트용 포토레지스트/E-빔 레지스트 사양
SEMI P3 - 경질 표면 포토플레이트용 포토레지스트/E-빔 레지스트 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P00500 - SEMI P5 - 펠리클 사양
SEMI P5 - 펠리클 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P00600 - SEMI P6 - 포토마스크 등록 표시 사양
SEMI P6 - 포토마스크 등록 표시 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P00700 - SEMI P7 - 점도 결정 시험 방법, 방법 A - 동점도
SEMI P7 - 점도 결정 시험 방법, 방법 A - 동점도 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P00800 - SEMI P8 - 포토레지스트의 수분 측정을 위한 테스트 방법
SEMI P8 - 포토레지스트의 수분 측정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P00900 - SEMI P9 - 마이크로전자 레지스트 기능 테스트 가이드
SEMI P9 - 마이크로전자 레지스트 기능 테스트 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P01000 - SEMI P10 - Specification of Data Structures for Photomask Orders - SEMI Dev 2
SEMI P10 - 포토마스크 주문을 위한 데이터 구조 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P01100 - SEMI P11 - 알칼리 현상액의 총 정상도 측정을 위한 테스트 방법
SEMI P11 - 알칼리 현상액의 총 정상도 측정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000
P01200 - SEMI P12 - 유도 결합 플라즈마 방출 분광법(ICP)에 의한 포지티브 포토레지스트의 철, 아연, 칼슘, 마그네슘, 구리, 붕소, 알루미늄, 크롬, 망간 및 니켈 측정
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