SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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MF052500 - SEMI MF525 - 広がり抵抗プローブを使用したシリコンウェーハの抵抗率測定の試験方法
MF053300 - SEMI MF533 - シリコンウェーハの厚さと厚さのばらつきの試験方法
SEMI MF533 - シリコンウェーハの厚さと厚さのばらつきの試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MF053400 - SEMI MF534 - シリコンウェーハの反りの試験方法
SEMI MF534 - シリコンウェーハの反りの試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MF057600 - SEMI MF576 - エリプソメトリーによるシリコン基板上の絶縁体の厚さと屈折率の測定のための試験方法
MF065700 - SEMI MF657 - 非接触スキャンによるシリコンウェーハの反りおよび総厚さの変動を測定するための試験方法
MF067100 - SEMI MF671 - シリコンおよびその他の電子材料のウェーハ上の平坦長さを測定するための試験方法
MF067200 - SEMI MF672 - 広がり抵抗プローブを使用してシリコンウェーハの表面に垂直な抵抗率プロファイルを測定するためのガイド
MF067300 - SEMI MF673 - 非接触渦電流計を使用した半導体ウェハの抵抗率または半導体膜のシート抵抗を測定するための試験方法
MF067400 - SEMI MF674 - 拡散抵抗測定用のシリコンの準備の実践
SEMI MF674 - 拡散抵抗測定用のシリコンの準備の実践 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MF072300 - SEMI MF723 - ホウ素ドープ、リンドープ、およびヒ素ドープのシリコンの抵抗率とドーパントまたはキャリア密度の間の変換の実践
MF072800 - SEMI MF728 - 寸法測定用の光学顕微鏡の準備の演習
SEMI MF728 - 寸法測定用の光学顕微鏡の準備の演習 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MF084700 - SEMI MF847 - X線技術による単結晶シリコンウェーハ上の平坦部の結晶方位を測定するための試験方法
MF092800 - SEMI MF928 - 円形半導体ウェーハおよびリジッドディスク基板のエッジ輪郭の試験方法
MF095000 - SEMI MF950 - 角度研磨および欠陥エッチングによる機械加工されたシリコンウェーハ表面の結晶損傷の深さを測定するための試験方法
MF095100 - SEMI MF951 - シリコンウェーハの半径方向の格子間酸素変動を測定するための試験方法
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