SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

E09600 - SEMI E96 - CIM후레임워크테크니컬아키테크체니즈루이드
SEMI E96 - CIM후레임워크테크니컬아키테크체니즈루이드 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
E09600 - SEMI E96 - CIM 프레임워크 기술 아키텍처 가이드
SEMI E96 - CIM 프레임워크 기술 아키텍처 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
E09700 - SEMI E97 - CIM 플레임워크 그로바르 솔루션
SEMI E97 - CIM 플레임워크 그로바르 솔루션 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
E09700 - SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces
E09800 - SEMI E98 - 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준
SEMI E98 - 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
E09800 - SEMI E98 - 오브제크트베이스 모델(OBEM) 사양 스탠다드
SEMI E98 - 오브제크트베이스 모델(OBEM) 사양 스탠다드 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
E09900 - SEMI E99 - 캐리어 ID 리더/라이터 사양
SEMI E99 - 캐리어 ID 리더/라이터 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
E09900 - SEMI E99 - 칼리아ID리다/라이타機能스탄다드:콘셉트,挙動,および書-bissに関する仕様
E10000 - SEMI E100 - 6인치는 230 mm의 레치크루의 구조에 사용 가능한 레치크루SMIF폿드(RSP)의 구조
E10000 - SEMI E100 - 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양
E10100 - SEMI E101 - EFEM 모델 가이드
SEMI E101 - EFEM 모델 가이드 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
E10100 - SEMI E101 - EFEM 기능 구조 모델 가이드
SEMI E101 - EFEM 기능 구조 모델 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
E10200 - SEMI E102 - CIM 후레임워크 재료 가공・강화 콘포넨트에 가능한 확정 설계
E10200 - SEMI E102 - CIM 프레임워크 자재 운송 및 보관 구성 요소에 대한 임시 사양
E10300 - SEMI E103 - FOUP를 에뮬레이트하는 300mm 단일 웨이퍼 박스 시스템의 기계적 사양
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