SEMI E94 - 컨트롤 작업 관리 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI E94-0314 - 현재

개정

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2013년 12월 23일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2014년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 2월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2013년 7월에 게시되었습니다.

이 사양은 높은 수준의 공장 자동화를 지원하는 공장에 서비스를 제공하는 장비에 대해 설명합니다. 이러한 서비스는 호스트가 생산 장비에서 재료의 처리 및 배치를 조정할 수 있는 기능을 제공합니다.

이 사양은 SEMI E30(GEM)을 준수하는 장비에 적용될 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 - SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E30— 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39.1— 객체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜
SEMI E40— 처리 관리 표준

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