SEMI E90 - 基板トラッキングの仕様 -

Abstract

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免責事項： このSEMIstandade は，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本standardの目的は製造装置内の基板(製造された製品)のtracking装置が実行する標準的なサーbisを記すことである本standardo。は基板情報管理に関する概念，挙動，およびメッセージ/서비스も定義する。

本質的には基板についての情報は팍트리시스템が管理しなければならず，装置は基板情報管理に関するサーbisの提供を要求される.本standadeでは装置内の基板情報を管理するための装置surabisに関する要求事項を扱っている.

本スタンダードの範囲はユーザが要求できる装置情報サーbisを定義することである.要求されているサーbisを明確にするため，基板の概念および挙動, 基板ロケーション, Batchito Batchiのロケーションが定義されている.

本standaredは基板を処理するあらゆる製造装置に適用可能である.sa-bissを実装するには装置およは装置および팍트리시스템がnettwork で統合されていなければならない.

하위 표준(포함):

SEMI E90.1-0312 - SECS-II 프로토콜 기판 추적 사양

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양

SEMI E39 — 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스 

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