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SEMI E94 - 콘트로르죠브 관리(CJM)의 교체 -
Abstract
本standanardは, the Information & Control Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2013年6月4日，global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2013年7 月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org 에서 가능 합니다 .
この仕様は高度に自動化された工場においてサーbisを提供する装置について記述する.このサーbisは製造装置における材料proses および処理をコントロールする能力をホストに提供する.
이 제품 은 SEMI E30 ( GEM )에 합치는 装置에 사용하기 위한 것입니다.
종속 문서:
SEMI E94.1-0312 - 제어 작업 관리(CJM)를 위한 SECS-II 프로토콜 사양
참조된 SEMI 표준
SEMI E5 - SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E30— 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39.1— 객체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜
SEMI E40— 처리 관리 표준
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