SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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MF008400 - SEMI MF84 - インライン 4 点プローブを使用してシリコン ウェーハの抵抗率を測定するテスト方法
MF009500 - SEMI MF95 - 赤外分光分光光度計を使用した高濃度ドープシリコン基板上の低濃度ドープシリコンエピタキシャル層の厚さの試験方法
MF011000 - SEMI MF110 - アングルラッピングおよびステイン技術によるシリコンのエピタキシャル層または拡散層の厚さの試験方法
MF015400 - SEMI MF154 - シリコンの鏡面表面に見られる構造および汚染物質の特定に関するガイド
MF037400 - SEMI MF374 - シングル構成手順によるインライン 4 点プローブを使用したシリコンエピタキシャル層、拡散層、ポリシリコン層、およびイオン注入層のシート抵抗の試験方法
MF039100 - SEMI MF391 - 定常状態の表面光電圧の測定による外部半導体の少数キャリア拡散長の試験方法
MF039700 - SEMI MF397 - 2 点プローブを使用したシリコンバーの抵抗率の試験方法
SEMI MF397 - 2 点プローブを使用したシリコンバーの抵抗率の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MF052300 - SEMI MF523 - 研磨されたシリコンウェーハ表面の肉眼による検査の実践
SEMI MF523 - 研磨されたシリコンウェーハ表面の肉眼による検査の実践 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MF052500 - SEMI MF525 - 広がり抵抗プローブを使用したシリコンウェーハの抵抗率測定の試験方法
MF053300 - SEMI MF533 - シリコンウェーハの厚さと厚さのばらつきの試験方法
SEMI MF533 - シリコンウェーハの厚さと厚さのばらつきの試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MF053400 - SEMI MF534 - シリコンウェーハの反りの試験方法
SEMI MF534 - シリコンウェーハの反りの試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
MF057600 - SEMI MF576 - エリプソメトリーによるシリコン基板上の絶縁体の厚さと屈折率の測定のための試験方法
MF065700 - SEMI MF657 - 非接触スキャンによるシリコンウェーハの反りおよび総厚さの変動を測定するための試験方法
MF067100 - SEMI MF671 - シリコンおよびその他の電子材料のウェーハ上の平坦長さを測定するための試験方法
MF067200 - SEMI MF672 - 広がり抵抗プローブを使用してシリコンウェーハの表面に垂直な抵抗率プロファイルを測定するためのガイド
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