SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

F00800 - SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製츄브継手接合部のシール能力を評価する試験方法
F00900 - SEMI F9 - 측면 하중 조건이 적용될 때 탄화플루오르 재료로 만든 튜브 피팅 연결부의 누출 특성을 결정하는 테스트 방법
F00900 - SEMI F9 - siderod状態に置かれた場合のフロロカーボン製츄브핏팅接合部の漏洩特性を測定する試験方法
F01000 - SEMI F10 - 탄화플루오르 재질로 된 튜브 피팅 연결부의 고장을 일으키는 데 필요한 내부 압력을 결정하는 테스트 방법
F01000 - SEMI F10 - 훗素樹脂製츄브피팅に損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのtest法
F01100 - SEMI F11 - 탄화플루오르 재료로 만든 튜브 피팅 연결부의 열적 특성 표시를 얻기 위한 테스트 방법
F01100 - SEMI F11 - 훠素樹脂製츄브피팅의 열성특징성을 を得る ための試験方法
F01200 - SEMI F12 - Test Method to Determine the Sealing Capabilities of Fittings, Made of Fluorocarbon Material, after Being Subjected to a Heat Cycle
F01200 - SEMI F12 - 훗素樹脂製fittingの熱西クル負荷後のシール性能決定の試験方法
F01300 - SEMI F13 - 가스 소스 제어 장비용 가이드
SEMI F13 - 가스 소스 제어 장비용 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
F01400 - SEMI F14 - 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드
SEMI F14 - 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드 정상 가격₩427,000 KRW 할인 가격₩242,000 KRW
F01500 - SEMI F15 - 육불화황 추적 가스 및 가스 크로마토그래피를 사용한 인클로저 테스트 방법
F01800 - SEMI F18 - Guide for Determining the Hydrostatic Strength of, and Design Basis for, Thermoplastic Pipe and Tubing
F01900 - SEMI F19 - 스테인리스 스틸 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양
SEMI F19 - 스테인리스 스틸 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
F01900 - SEMI F19 - 스텐레스스치르부착가스・接液面の表面仕上げのための仕様
SEMI F19 - 스텐레스스치르부착가스・接液面の表面仕上げのための仕様 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
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