SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

F02000 - SEMI F20 - Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used in General Purpose, High Purity and Ultra-High Purity Semiconductor Manufacturing Applications - SEMI Dev 2
F02000 - SEMI F20 - 用于通用、高纯和超高纯半导体制造组件的316L不锈钢棒材、锻材、挤压型材、板材和管材的规范
F02000 - SEMI F20 - 高純度 および超高純度の半導体製造アプリケーションで用 される汎用 콘포넨트용의 316Lstenres鋼の棒鋼,鍛造品,押出成品,鋼板,鋼管の仕様
F02100 - SEMI F21 - 청정 환경에서 공기 중 분자 오염 물질 수준의 분류
SEMI F21 - 청정 환경에서 공기 중 분자 오염 물질 수준의 분류 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
F02100 - SEMI F21 - 清浄な環境における空気を媒體とする分子汚染レベルの分類
SEMI F21 - 清浄な環境における空気を媒體とする分子汚染レベルの分類 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
F02200 - SEMI F22 - 벌크 및 특수 가스 분배 시스템 가이드
SEMI F22 - 벌크 및 특수 가스 분배 시스템 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
F02300 - SEMI F23 - 등급 10/0.2 수소의 입자 농도 사양
SEMI F23 - 등급 10/0.2 수소의 입자 농도 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
F02300 - SEMI F23 - 그레이드10/0.2 화성특유가스의 진자에 대응하는 사양
SEMI F23 - 그레이드10/0.2 화성특유가스의 진자에 대응하는 사양 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
F02400 - SEMI F24 - 등급 10/0.2 불활성 특수 가스의 입자 농도 사양
SEMI F24 - 등급 10/0.2 불활성 특수 가스의 입자 농도 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
F02500 - SEMI F25 - 등급 10/0.2 산화제 특수 가스의 입자 농도 사양
SEMI F25 - 등급 10/0.2 산화제 특수 가스의 입자 농도 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
F02600 - SEMI F26 - 등급 10/0.2 독성 특수 가스의 입자 농도 사양
SEMI F26 - 등급 10/0.2 독성 특수 가스의 입자 농도 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
F02600 - SEMI F26 - 그레이드10/0.2 유기특유가스의 진자에 가능한 사양
SEMI F26 - 그레이드10/0.2 유기특유가스의 진자에 가능한 사양 할인 가격Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000
F02700 - SEMI F27 - 대기압 이온화 질량 분석법(APIMS)에 의한 가스 분배 시스템 및 구성 요소의 수분 상호 작용 및 함량에 대한 테스트 방법
F02700 - SEMI F27 - 가스분리시스템 および部品の水分相互作用 および含有量の大気圧電離質量分析(APIMS)による, test方法
F02800 - SEMI F28 - 프로세스 패널에서 입자 생성을 측정하기 위한 테스트 방법
SEMI F28 - 프로세스 패널에서 입자 생성을 측정하기 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000
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