SEMI F9 - siderod状態に置かれた場合のフロロカーボン製츄브핏팅接合部の漏洩特性を測定する試験方法 -

개정: SEMI F9-0998 - 비활성

개정

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項: このSEMIstandadeは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

この方法は,siderod状態に置かれた場合のフロロカーボン材質でできたちつーブfitting接合部の漏洩特性測定する一定の手順を規定するものである.

 

この方法は,ここに述べられている条件のもとに作成された試験データに基づき,츄브 피팅接合部特性を記述するのに用使することがきる。

 

の方法において定義される츄브は,管状をしており,프로 카본材質でできている。

 

の方法において定義 される츄브 피팅のうち内部の液體と接触する全ての部分は,플로로 카본材質でできている.

 

낫트,그립파等のような部分は,플로로카본材質で作成されなくてもよい.

 

츄브와評価されている츄브피팅の間のシールのみ,本文書の範囲内である.の全ての装着シールは本文書の範囲外である.

 

種々の츄브피팅間又は製造者間における比較notumeにこの方法を使用する場合には,유자は評価されるべき츄브及び츄브픽 tingを明確に選択しなければ그렇지않다。

 

本adoculmentにおける計量の標準単位としては,国際単位系(SI )が使用される。US慣例単位は参考目的のみのために括弧内に併記れ,最も近い数値に丸められてきた。

 

참조된 SEMI 표준

없음.

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