SEMI F1 - 고급 가스 配系 および部品の漏れ完全性仕様 -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

この仕様は半導体製造に使用される高純度gas配管系および部品の，漏れ試験の要求条件と漏れ率を定義する。mata，装置，材料，サービスの調達および設置に役立つことも目的としている.

この仕様は半導体製造設備 と，これに匹敵する研究開発発エリアで使用される，高純度gas配管系および部品に適用される。

この仕様は，完全なsystem，サブsystem，および個々の部品に対する試験方法が含まれる.

この仕様はユーザと製造者の双方に対する要求条件を記載し，mata受け入れ試験および検定試験のための漏れ率限度を確立する.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

개정 내역

SEMI F1-0812(기술 개정)

SEMI F1-96(기술 개정판)

SEMI F1-90(초판)

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