SEMI Standards

SEMI Standards are voluntary technical agreements for the semiconductor, flat panel display, micro-electromechanical systems, photovoltaic, and high-brightness LED industries.

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E04500 - SEMI E45 - 気相分解－全反射X線分光法 (VPD/TXRF)，気相分解－原子吸収分光法(VPD/AAS)，気相分解－誘導結合プラズマ質量分光法 (VPD/ICP-MS) を使用したミニエンバイロメントからの無機汚染分析のための試験方法
SEMI E45 - 気相分解－全反射X線分光法 (VPD/TXRF)，気相分解－原子吸収分光法(VPD/AAS)，気相分解－誘導結合プラズマ質量分光法 (VPD/ICP-MS) を使用したミニエンバイロメントからの無機汚染分析のための試験方法 Sale priceMember Price: $135.00
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E03200 - SEMI E32 - Material Movement Management (MMM)
SEMI E32 - Material Movement Management (MMM) Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E04600 - SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法
SEMI E46 - イオン移動度分光計（IMS）を使用したミニエンバイロメントからの有機汚染分析の試験方法 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E02300 - SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインタフェースのための仕様
SEMI E23 - カセット搬送パラレルI/Oインタフェースのための仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E14100 - SEMI E141 - Guide for Specification of Ellipsometer Equipment for Use in Integrated Metrology
SEMI E141 - Guide for Specification of Ellipsometer Equipment for Use in Integrated Metrology Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E05300 - SEMI E53 - Event Reporting
SEMI E53 - Event Reporting Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
P02900 - SEMI P29 - Specification for Characteristics Specific to Attenuated Phase Shift Masks and Masks Blanks
SEMI P29 - Specification for Characteristics Specific to Attenuated Phase Shift Masks and Masks Blanks Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E14400 - SEMI E144 - Specification for RF Air Interface Between RFID Tags in Carriers and RFID Readers in Semiconductor Production and Material Handling Equipment
SEMI E144 - Specification for RF Air Interface Between RFID Tags in Carriers and RFID Readers in Semiconductor Production and Material Handling Equipment Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E13100 - SEMI E131 - Specification for the Physical Interface of an Integrated Measurement Module (IMM) into 300 mm Tools Using Bolts-M
SEMI E131 - Specification for the Physical Interface of an Integrated Measurement Module (IMM) into 300 mm Tools Using Bolts-M Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E11000 - SEMI E110 - Guideline for Indicator Placement Zone and Switch Placement Volume of Load Port Operation Interface for 300 mm Load Ports
SEMI E110 - Guideline for Indicator Placement Zone and Switch Placement Volume of Load Port Operation Interface for 300 mm Load Ports Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E10200 - SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・格納コンポーネントに関する暫定仕様
SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・格納コンポーネントに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E11800 - SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能スタンダード: 概念，動作，サービス
SEMI E118 - ウェーハIDリーダ通信インタフェースの仕様 — ウェーハIDリーダの機能スタンダード: 概念，動作，サービス Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E10500 - SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様
SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC）
SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC） Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E05800 - SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス
SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド
SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E10500 - SEMI E105 - Provisional Specification for CIM Framework Scheduling Component
SEMI E105 - Provisional Specification for CIM Framework Scheduling Component Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E11900 - SEMI E119 - Mechanical Specification for Reduced-Pitch Front-Opening Box for Interfactory Transport of 300 mm Wafers
SEMI E119 - Mechanical Specification for Reduced-Pitch Front-Opening Box for Interfactory Transport of 300 mm Wafers Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E10100 - SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド
SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド Sale priceMember Price: $135.00
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E01501 - SEMI E15.1 - 300 mm装置ロードポートのための仕様
SEMI E15.1 - 300 mm装置ロードポートのための仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
E16100 - SEMI E161 - Guide for Identification and Classification of Training Tiers
SEMI E161 - Guide for Identification and Classification of Training Tiers Sale priceMember Price: $113.00
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E03600 - SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様
SEMI E36 - 半導体装置製造情報タグ付け仕様 Sale priceMember Price: $135.00
Non-Member Price: $231.00
P03600 - SEMI P36 - Guide for Magnification Reference for Critical Dimension Measurement Scanning Electron Microscopes (CD-SEM)
SEMI P36 - Guide for Magnification Reference for Critical Dimension Measurement Scanning Electron Microscopes (CD-SEM) Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
E04600 - SEMI E46 - Test Method for the Determination of Organic Contamination from Minienvironments Using Ion Mobility Spectrometry (IMS)
SEMI E46 - Test Method for the Determination of Organic Contamination from Minienvironments Using Ion Mobility Spectrometry (IMS) Sale priceMember Price: $113.00
Non-Member Price: $193.00
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