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SEMI S26 - FPD製造系統的環境、衛生與安全基準 -
Abstract
本標準經全球環境衛生與安全委員會技術核准。本版本經全球稽核與審核小組於2011年7月1日核准。已於2011年8月公佈於www.semi.org 網站，並於www.semiviews.org發行。
注意：以「註」為標題的章節並分本指導方針的正式部分，亦非用來修改或取代其正式指導方針。僅為委員會用來強調安全指導方針的正確使用。
本安全基準旨在針對FPD製造系統（FPDMS）及其子系統提供以性能為基礎之環境、衛生及安全（EHS）上的考量。
適用性 — 本基準適用於FPDMS，包括製造、測量、組裝、FPD產品測試，以及FPDMS子系統。
目錄 — 本文件包含下列章節：
1. 宗旨
2. 範圍
3. 限制
4. 參考標準及文件
5. 專業詞彙
6. 安全理念
7. 一般說明
8. 設計審查與檢驗的評估
9. 提供給使用者的文件
10. 危險警示標籤
11. 安全連鎖系統
12. 緊急關閉
13. 電氣設計
14. 消防(Fire protection)
15. 製程液體加熱系統
16. 人因工程與人因因素
17. 危險能源隔離（HEI）
18. 機械設計
19. 地震防護
20. FPDMS的AMHS
21. 排氣通風
22. 環境因素
23. 化學藥劑
24. 游離輻射
25. 非游離輻射及輻射場
26. 雷射
27. 音壓位準
附件1 — FPDMS的整合問題
附件2 — 設備外殼開口
附件3 — 評估FPDMS或其子系統排氣通風的設計原理及測試方法
附件4 — FPDMS液態化學藥劑子系統的設計基準
附件5 — 消防：製造材料選擇流程圖
附件6 — 游離輻射測試之驗證程序
附件7 — 非游離輻射（雷射以外的輻射）及輻射場測試之驗證程序
附件8 — 雷射資料表
章節適用優先順序 — 本基準不同章節之內容如有相互衝突情形，細述技術規範之章節（或子章節）應優先於概述技術規範之章節（或子章節）。
Referenced SEMI Standards
SEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation
SEMI F5 — Guide for Gaseous Effluent Handling
SEMI F14 — Guide for the Design of Gas Source Equipment Enclosures
SEMI S1 — Safety Guideline for Equipment Safety Labels
SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S3 — Safety Guideline for Process Liquid Heating System
SEMI S6 — EHS Guidelines for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S7 — Safety Guidelines for Evaluation Personnel and Evaluating Company Qualifications
SEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process
SEMI S13 — Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use with Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S14 — Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment
SEMI S21 — Safety Guideline for Worker Protection
SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment
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