C00357 - SEMI C3.57 - シリンダ中の電子的グレード二酸化炭素，CO2の仕様

SEMI C3.57 - シリンダ中の電子的グレード二酸化炭素，CO2の仕様 -

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Volume(s): Gases
Language: Japanese

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Type: Single Standards Download (.pdf)

Revision: SEMI C3.57-0312 - Superseded

Revision

Abstract

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年3月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年6月発行。

　

本文書の目的は，半導体製造産業にて使用される，二酸化炭素(CO2)の仕様を提供することである。

　

本文書は，半導体製造産業にて使用される，二酸化炭素(CO2)の要件をカバーするものである。

　

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