SEMI T18 - 부품 및 부품 추적성 사양 -

Abstract

이 표준은 Traceability Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 2월 1일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 7월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2006년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2012년 8월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 교정, 청소 및 교체와 같은 유지 보수 전에 수명 또는 남은 시간을 보다 정확하게 추정하기 위해 데이터를 수집하고 관리하는 표준 수단을 제공하는 것입니다.

이 표준의 최종 목표는 지그 및 일부 소모품을 포함하여 제조 장비의 부품 및/또는 구성 요소를 추적하여 반도체, 평판 디스플레이(FPD) 또는 MEMS 장치의 추적 가능성을 실현하는 것입니다.

 

이 문서는 약간의 확장이 있는 SEMI T12(지그 및 도구 추적 사양)를 기반으로 장비 및 감독 시스템의 기본 기능 및 메시징 기능을 지정합니다.

　

이 문서는 부품 및 구성 요소의 수명을 예측하거나 예측하는 방법론이나 알고리즘을 지정하지 않습니다. 여기서 구성 요소에는 대상 물질이 있는 스퍼터링 건과 같은 소모성 물질과 욕조 또는 용기에서 반복적으로 사용되는 화학 물질이 포함됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E98 — 개체 기반 장비 모델(OBEM)에 대한 임시 표준
SEMI T12 — 추적 지그 및 도구 사양

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