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SEMI T16 - 極紫外線mask自動識別用 データマトリクス記号法適用の仕様 -
Volume(s):
Traceability
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
알림: 이 번역은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
本standanardは， global Traceability Committee で技術的に承認されている。現版は2006年5月16日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2006年6月にwww.semi.orgで。初版は2005年11月に発行された。
本仕様では，하드코트極紫外線（ EUV ）maskにmarkousる記号法について記載する.
本仕様では, SEMI P37 およびSEMI P38の仕様に適合あるいは援用される，레지스트코트6인치極紫外線maskのパターンにマーキングする機械可読な正方形二次元データマトリクスコードの幾何学的，空間的関係および（ EラーCHECK・訂正コードの）内容について定義する.
本仕様は，データマトリクスフィールドの特性 および位置のみに対応するものである.このデータマトリクスフィールドには，従来， 6inch光学レティクルの各種バーコード記号に含まれていた情報を含めることができる。そのような情報のフォーmattは，本仕様では詳述しない。
참조된 SEMI 표준
SEMI P37 — 극자외선 리소그래피 마스크 기판 사양
SEMI P38 — 극자외선 리소그래피 마스크 블랭크의 흡수 필름 스택 및 다층에 대한 사양
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