SEMI T11 - 경질 표면 레티클 기판 마킹 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Traceability
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI T11-0703(재승인 0921) - 현재

개정

Abstract


이 사양은 기판의 가장자리 제외 영역 내에서 단단한 표면 레티클 기판을 표시하기 위한 기호를 제공합니다.


이 사양은 다음의 사양을 준수하는 레지스트 코팅된 6인치 레티클 기판의 패턴 표면 마킹을 위한 정사각형 2차원, 기계 판독 가능 데이터 매트릭스 기호의 기하학적 및 공간적 관계 및 내용(오류 검사 및 수정 코드 포함)을 정의합니다. 세미 P1.

이 사양은 데이터 매트릭스 필드 특성 및 위치만을 다룹니다. 이 데이터 매트릭스 필드에는 이전에 6인치 레티클의 다양한 바코드 기호에 포함된 정보가 포함될 수 있습니다. 이러한 정보의 형식은 이 사양에 자세히 설명되어 있지 않습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI P1 — 경질 표면 포토마스크 기판 사양

개정 내역

SEMI T11-0703(재승인 0921)

SEMI T11-0703(1014년 재승인)

SEMI T11-0703 (재승인 0709)

SEMI T11-0703(기술 개정)

SEMI T11-1102(초판)

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