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SEMI S29 - 불소계 온실가스(F-GHG) 구현 권리 표시 및 저촉도 가이드 -
Abstract
본 표준은 Global Environment , 의료 및 안전 기술 계획 (Environmental, Health & Safety Committee) 의 기술 승인을 받았습니다. 본버전은 글로벌 감사 및 평가 소위원회(Audits and Reviews Subcommittee) 가 2012년 6월 18일에 간행을 승인하고 2012년 7월부터 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공된다 .
알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 어떤 언어로 된 번역본 간에 차이점이 존재하는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.
주의 :
본 한글본은 참고용으로, 영문원본과 한글본 간에 차이 가 발생하는 경우, 영문원본을 먼저 해야 합니다. 본 한글본에 대한 문의사항이 있는 경우 krstandards@semi.org . 로 문의주세요.
본 문서는 제조 장비 (ME) 에서 배출되는 불소계 온실가스 (F-GHG) 의 권리를 표시하기 위한 가이드를 제공한다.
본 문서는 저감 형 저감 도구(abatement tool) 의 F-GHG 처리 보존 (DRE) 권리를 표시하기 위한 가이드를 제공한다.
또한 본 문서에서는 ME 또는 저감 초경(저감 도구) 에서 저감기를 지속적으로 개선하기 위한 계획을 세워야 했습니다.
본 가이드 가 적용되는 온실가스 (GHG) 는 CF 4 , C 2 F 6 , C 3 F 8 , cC 4 F 8 , CHF 3 , SF 6 및 NF 3 이다 .
본 가이드는 ME 의 F-GHG 발생 의무 표시에 적용된다 .
본 가이드는 저감 초경 (abatement tool) 의 F-GHG 배출 의무 표시에도 적용된다 .
본 은 ME 에서 발생하는 반응 을 궐기 하는 F-GHG 의 참여량 , 비둘기물 , 부산물 가이드라인 또는 재결합에 대한 권리 표시에 적용된다.
본 가이드는 F-GHG DRE 의 저감 초중 (저감 도구) 사양에 적용된다 .
반도체 , TFT-LCD, 태양광전지 산업에는 본 가이드를 활용하는 것이 설명된다 .
본 가이드에 포함된 섹션은 다음과 같다 .
- 반대
- 범위
- 제한 사항
- 표준 및 문서 참조
- 참조
- 일반 최
- 기준 스캔
- 장비 측정
- F-GHG 배출의 측정 및 특성 표시
- F-GHG 회수 의 개시 및 종료
- 보고
- 기록이 복구된 기록
- 로드맵 및 지속적인 개선
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S23 — 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드
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