SEMI S29 - 훗素系温室効果gas(F-GHG)排出の特性評価와 削減に関するgaid -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本standaredは， 환경, 건강 및 안전 글로벌 기술 위원회で技術的に承認されている。現版は2012年6月18日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された2012年7月。にwww .semiviews.orgおよび www.semi.org 이용 가능합니다.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本書は，製造装置(ME )から排出される훗素系温室効果gass (F-GHG )の特性を評価するためのダンスを提供する.

　

本書は，抑制ツールのF -GHG破壊除去効率 (DRE )の特性を評価する ためのダンスを提供する.

　

本書では, MEmatataは抑制ツールの排出量削減に関する継続的な改善計画についても扱う.

　

本gaidが適用 される 온열 가스 (GHG)は，CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, CHF3, SF6, NF3 로.

　

本gaidは, MEからのF-GHG排出特性評価に適用される.

　

本gaidは，抑制ツールからのF-GHG排出特性評価に適用される.

　

本gaidは， MEにおける化学反応によるF-GHGの消費，残留，副生成物，組み換えについての特性評価に適用される。

　

本gaid는, F-GHG 의 仕様に適用 される에 대해 설명합니다.

　

本gaidは，少なくとも半導体， TFT-LCD ，太陽電池の各業界で用いることが推奨される。

　

本gaidには，以下の章が含まれる。

• 目的

範囲

制限

参照スタンダード および文書

用語

一般条項

베이스라인레시피

測定機器

F-GHG 배출 규제와 특이성 문제

F-GHG 배출특수성 시계의 시계와 속도

報告書

特性評価 した データ の 記録管理

로드맵과 継続的改善

　

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S23 — 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드

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