SEMI S28 - 針對預計應用於半導體生產設備之機器人與之安全指導方針 -

Abstract

本安全指導方針由全球環境、衛生及安全技術委員會(환경보건안전기술위원회)技術核可，本版於2011年9月12日由全球審核與覆檢小組委員위원님2011年10月www.semiviews.org 에서 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

注意：段落標示為"註"者不屬於本指導方針之正式部分，亦非用以更改或取代正式指導方針。該部份為委員會補充，以增強本指導方針的應用性.

注意：在此指導方針中所稱"應該"條款之一致性必須宣告與本文件之一致性，所稱"可能"、"建議"、"首選"、"推薦"、"注"或"相關資訊"條款則並不一定要宣告其一致性.

本安全指導方針針對預計整合至半導體生產設備(SME)之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人，提供以效能與設計為基礎的安全考量.

本安全指導方針는 SEMI S2所涵蓋的一般範圍外，提供額外指示予承載埠與晶圓搬運裝卸機器人製造商。

本安全指導方針涵蓋預計整合至SME之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人之基本安全問題，但可能未涵蓋工業機器人之其他適用安全指導方針與標準.

本安全指導方針於整合前提供安全評估指示予承載埠與晶圓搬運裝卸機器人.

本安全指導方針協助SME承載埠與晶圓搬運裝卸機器人設計師預先考慮整合期間會產生的安全考量.

本安全指導方針指示承載埠與晶圓搬運裝卸機器人供應商予涉及整合者所需關於其完成SME系統安全評估之文件內容。

本安全指導方針適用於依供應商之意圖製造，並整合至半導體製造設備之氣動與真空晶圓搬運裝卸機器人。

本安全指導方針適用於與前開式晶圓傳送盒(FOUP)、標準機械介面(SMIF)傳送盒連接之承載埠與晶圓匣，及此類將整合至半導體生產設備者.

本安全指導方針包含工業機器人之安全標準以外所附加之安全考量.

本安全指導方針適用於獨立於SME外所評估之晶圓搬運裝卸機器人與承載埠。

§8中的文件條款將適用於本安全指導方針發行後所售出之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人，無論其設計或開發日期為예.

本文件包含下列部分：

1.目的

2.範疇

3.限制條件

4.參考標準與文件

5.專門用語

6.一般考量

7. WHR(晶圓搬運裝卸機器人)與承載埠之安全特性

8.提供給整合者之資訊

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양

SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더의 기계적 사양

SEMI E92 — 도구 상호 운용성 표준(BOLTS/Light)에 대한 300mm 경량 및 소형 박스 오프너/로더 사양

SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양

SEMI E117 — 레티클 로드 포트 사양

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침

SEMI S17 — UTV(무인 운송 차량) 시스템에 대한 안전 가이드라인

SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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