SEMI S28 - 半導体製造装置用 ロボット およびロードポート의 안전 가이드 라인 -

Abstract

本安全가이드라인は， 글로벌 환경 보건 안전 위원회で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年10月にwww. semiviews.org 또는 www.semi.org 에서 거래가 가능합니다.

 

本安全gaidlineは，半導体製造装置（ SME ）への統合が意図されたロードポート およびウェーハンドリングロボットに関する，一連の性能および設計安全基準を提供する.

 

本安全gaidline은 SEMI S2의 一般的範囲を超えたロードポートおよびウェーハンドリングロードボットの製造業者に対して追加のgaidaンスを提供する.

 

本安全gaidlineでは， SMEへの統合が意図されたロードポートおよびウェーハンドラングローボットにとって本質的な安全性の問題のうち，産業用ロボットに適用される他の安全gaidlineおよびstandardで扱われていないかもしれない問題を扱う。

 

本安全gaidlineは，統合される前のロードポートおよびウェーハンドリングロボットの安全性評価に関する 가이단스を提供する.

 

本安全への統合に際して生じる安全上の考慮事項を予想する助けとなる.

 

本安全gaidlineは，ロードポートおよびウェーハンドリングロボットのサプライヤに対し，Integreytaによる完成形SMESystemの安全性評価に必要な文書の内容に関する指針を示す.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)

SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양

SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더의 기계적 사양

SEMI E92 — 도구 상호 운용성 표준(BOLTS/Light)에 대한 300mm 경량 및 소형 박스 오프너/로더 사양

SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양

SEMI E117 — 레티클 로드 포트 사양

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침

SEMI S17 — UTV(무인 운송 차량) 시스템에 대한 안전 가이드라인

SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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