SEMI S27 - 環境，健康，安全（ESH）評価報告書の内容に関する安全가이드라인 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責 ： ： 事項 반 スタンダード スタンダード は は は は 投票 により 作成 作成 さ さ さ れ た た 英語 版 版 が 正式 な もの であり であり であり 日本 語 語 版 版 は は 日本 日本 の 利用 者 各位 各位 の 便宜 の に 作成 し た もの もの です です。 が が が 一 一 英語 と 日本 が が が が が が が が が 語 日本 日本 日本 日本 日本 し し し し し し し し し し し し し し し し た もの もの です。 万 が が ∎ある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本安全가이드라인は， Environmental Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年12月16日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された2010年2月にwww。 .semi.org 에서 거래가 가능합니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

本文書は, SEMI安全gaidlinenに対する製造装置 (ME)の評価を記録する評価報告書の一貫性をはかり，読みやすさを改善する ことを目的としている。

本文書は，SEMI安全가이드라인への適合性に関するMEの評価報告書に適用される.

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S7 — 평가 담당자 및 회사 자격 평가를 위한 안전 지침
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

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