SEMI S26 - FPD 製造系統的環境、衛生與安全基準 -

Abstract

本標準經全球環境衛生與安全委員會技術核准。本版本經全球稽核與審核小組於2011年7月1日核准。已於2011年8公佈於www.semi.org網站，並於www.semiviews. 조직 .

注意：以「註」為標題的章節並分本指導方針的正式部分，亦非用來修改或取代其正式指導方針。僅為委員會用來強調安全指導方針的正確使用.

本安全基準旨在針對FPD製造系統(FPDMS)及其子系統提供以性能為基礎之環境、衛生及安全(EHS)上的考量。

適用性-本基準適用於FPDMS, 包括製造, 測量, 組裝, FPD產品測試, 以及FPDMS子系統.

目錄-本文件包含下列章節:

1.宗旨

2.範圍

3.限制

4.參考標準及文件

5.專業詞彙

6.安全理念

7.一般說明

8.設計審查與檢驗的評估

9.提供給使用者的文件

10.危險警示標籤

11.安全連鎖系統

12.緊急關閉

13. 전기設計

14.消防(방화)

15.製程液體加熱系統

16.人因工程與人因因素

17.危險能源隔離(HEI)

18.機械設計

19.地震防護

20. FPDMS 의 AMHS

21.排氣통풍

22.環境因素

23. 화학藥劑

24.游離輻射

25.非游離輻射及輻射場

26.雷射

27.音壓位準

附件1 — FPDMS 의 통합 솔루션

附件2 —設備外殼開口

附件3 — 評估FPDMS或其子系統排氣通風的設計原理及測試方法

附件4 — FPDMS液態化學藥劑子系統的設計基準

附件5 —消防：製造材料選擇流程圖

附件6 —游離輻射測試之驗證程序

附件7 —非游離輻射（雷射以外的輻射）及輻射場測試之驗證程序

附件8 — 雷射資料表

章節適用優先順序-本基準不同章節之內容如有相互衝突情形，細述技術規範之章節（或子章節）應優先於概述技術規範之章節(或子章節).

참조된 SEMI 표준

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드

SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드

SEMI F14 — 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드

SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S3 — 공정 액체 가열 시스템에 대한 안전 가이드라인

SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 지침

SEMI S7 — 평가 담당자 및 회사 자격 평가를 위한 안전 지침

SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인

SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침

SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침

SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침

SEMI S21 — 작업자 보호를 위한 안전 지침

SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

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