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SEMI S26 - FPD 시스템의 보안, 안전을 보장하는 가이드라인 -
Abstract
알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.
免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
本安全가이드라인は， Environmental Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認され月ている。現版は2015年10月19日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。 2016年5にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서는 2008년 3월 행사, 2015년 4월 행사는 이전에 가능했습니다.
注意： 「注」の表題のついた段落は，本安全gaidlineの公式な一部ではなく，mata安全gaidline本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。안가이드라이ンの利用を促進するために委員会が提供したものである.
本安全가이드라인は，SABS SYSTEMを含んだFPD製造System(FPDMS)で実現すべき，一連の環境，健康，安全(Environmental, Health, and Safety [EHS]) 上の性能基準を提供する.
適用－
本gaidline은, FPD製品の製造, 測定, 組立て, およびtestに使用されるFPDMS およびサブシステムに適用される.
条項の優先順位
－本安全gaidlineの複数項の規定が相互に矛盾する場合は，当該技術問題を特定して取り扱う項が，より一般的な他の項に優先수。참조된 SEMI 표준
SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드
SEMI F14 — 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S3 — 공정 액체 가열 시스템에 대한 안전 가이드라인
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인
SEMI S7 — 직원 평가 및 회사 자격 평가를 위한 안전 지침
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 가이드라인
SEMI S21 — 작업자 보호를 위한 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인
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