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SEMI S25 - 過氧化氫貯存及搬運系統之安全基準 -
Abstract
本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在2006年5月16日由全球稽核審閱次委員會認可及發行。並於2006年6月在www .semi.org發行線上版本,同年7月發行光碟版。
注意:本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容,不得以此修改或取代正式的安全基準。
本基準係針對半導體與平面顯示器產業之過氧化氫貯存、處理設備及系統設定最低的安全與衛生標準。
本安全基準所指的過氧化氫( H2O2 )濃度是指在半導體及平面顯示器產業常用的濃度(例如:濃度低於40% w/w).
本安全基準著重於半導體或平面顯示器工廠內部過氧化氫的貯存、處理、運送及輸送作業。
本安全基準包括下列章節:
- 目的(第1節)
- 範圍(第2節)
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가를 위한 안전 가이드라인
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S02500 - SEMI S25 - 過氧化氫貯存及搬運系統之安全基準
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