SEMI S23 - 半導體製造設備之能源, 電力, 原料節約基準 -

Name: S02300 - SEMI S23 - 半導體製造設備之能源, 電力, 原料節約基準
Brand: semi.org
SKU: 6905
Price: 240000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩240,000

Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI S23-0705 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員月會核准，目前版本由全球稽核及審查小組委員會於2005年520日核准出版，並於2005年6月在www.semi.org發行線上版本，2005年7月發行光碟版。初版於2005年3月發行，2005年07月預定公開。

本基準說明半導體製造設備之能源, 電力及原料的節約概念.

本基準說明半導體製造設備之能源, 電力及原料的用方法.

本基準並說明半導體製造設備之能源, 電力及原料使用的持續改善，以促進能源，電力及原料的節約。

本基準提供一系列的選擇與說明，旨在協助讀者瞭解能源，電力及原料節約技術。本基準亦提供電力與原料使用率測，以及將測量值換算成等效能源的方法建議.

本基準旨在作為半導體製造設備的能源、電力與原料節約分析之工具.

本基準亦提供半導體設備的能源、電力與原料的用率及耗量降低情形通報之方法.

本基準建議使用能源的當量值，以方便量化與SME相關的整體能源消耗與節約，且有助於規劃能源節約方法.

本基準僅著重設備壽命週期內的使用階段，且未涵蓋所有電力與原料相關議題.

本基準亦對電力與原料的用率和能源節約設有驗證與改善之目標.

本基準包含下列章節：

目的

範圍

限制

參考標準

詞彙

一般概念

能源使用的壽命週期評估( LCA )

基線製程

測量電力與原料使用率

等效能源的換算係數

設定目標與改善

監測與通報

相關文件

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드

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